標(biāo)準(zhǔn)件

圖1：248nm轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°）對隨機偏振光的反射和透射光譜

Ø氧化物涂層具有較高的機械穩(wěn)定性和較低的雜散光損耗

Ø激光鏡（在248nm處為> 99％，在308nm和351nm處R> 99.5％）

Ø高品質(zhì)的鏡面基板，熔融石英窗口片和鏡片

ØPR涂層的公差為

ر 2% for R = 10 ... 30%

ر 3% for R = 30 ... 75%

ر 2% for R = 75 ... 90% and

ر 1% for R > 90%

Ø開發(fā)和生產(chǎn)客戶特定的組件

圖2：可變衰減器在不同AOI下308nm處的透射光譜（a）和在308nm下AOI的透射率與AOI的透射率光譜圖（b）; 透射率從AOI = 0°時的T> 85％變化到AOI = 45°時的T = 2±1％（非偏振光）

耐氟腔光學(xué)元件

圖3：氟化KrF激光鏡的反射光譜（a）和R = 50±3％的輸出耦合器（b）

Ø氟化物涂層和CaF2基材對氟和氯具有高穩(wěn)定性

Ø激光鏡（在248nm和308nm時R> 98％，在351nm時R> 96％）

ØCaF2的高品質(zhì)鏡面基板，窗戶和鏡片（肖特公司248nm受激準(zhǔn)分子級或紫外線品質(zhì)）

ØPR涂層的公差為：

ر 2% for R = 10 ... 30%

ر 3% for R = 30 ... 75% and

ر 2% for R=75 ... >90%

KrF，XeCl和XeF激光組件的技術(shù)參數(shù)

*在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena進(jìn)行了測量

**能量密度：100mJ / cm 2， 速率：100Hz，脈沖持續(xù)時間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試

***能量密度：55 mJ / cm2， 速率：100Hz，脈沖持續(xù)時間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測試

標(biāo)準(zhǔn)飛秒激光光學(xué)元件（帶寬約120 nm）

Ø此處顯示的涂層在600 nm至1000 nm的波長范圍內(nèi)的帶寬為120 – 150 nm。

Ø鏡子反射率非常高（R> 99.9 ... 99.97％）

Ø光譜公差為中心波長的1％

Ø根據(jù)涂層設(shè)計，LIDT = 0.1 ... 0.3 J / cm2

Ø內(nèi)部設(shè)計計算和GDD測量功能

Ø根據(jù)客戶要求定制中心波長，GDD和TOD

飛秒激光標(biāo)準(zhǔn)反射鏡

圖1：標(biāo)準(zhǔn)低色散飛秒激光鏡的反射率（a）和GDD（b）光譜

圖2：標(biāo)準(zhǔn)低色散車鏡的反射率（a）和GDD（b）光譜

圖3：標(biāo)準(zhǔn)低色散泵激光鏡的反射率（a）和GDD（b）光譜

負(fù)色散鏡

圖4：GDD = -40±10fs2的標(biāo)準(zhǔn)負(fù)色散反射鏡的反射率（a）和GDD（b）光譜

輸出耦合器和光束分離器

圖5：幾個標(biāo)準(zhǔn)輸出耦合器的反射率（a）和GDD（b）光譜（GDD光譜是針對R = 98％計算得出的，但在所有反射率上都是相似的）

圖6：幾個標(biāo)準(zhǔn)分束器的AOI = 45°和p偏振光的反射率（a）和GDD（b）光譜（計算出的GDD光譜的R = 50％，但在所有反射率下都相似）

Ø還提供用于s的光束分離器-偏振光

Ø輸出耦合器和分束器的反射率和透射率可根據(jù)客戶要求進(jìn)行調(diào)整

Ø公差：

ØR =10 … 70 % ± 2.5 %

ØR = 70 … 90 % ± 1.5 %

ØR = 90 … 95 % ± 0.75 %

ØR = 95 … 98 % ± 0.5 %

ØR > 98% ± 0.25 %

Ø標(biāo)準(zhǔn)增透膜：

ØAOI = 0°: R < 0.2 %

ØAOI = 45°, s - pol: R s < 0.5 %;
p - pol: rear side uncoated, Rp < 0.6 %

Layertec 飛秒激光光學(xué)元件